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华为最新投向光刻机 一图看懂国产产业链名单

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6月7日讯,在华为重磅发布HarmonyOS 2(鸿蒙操作系统)的当天,天眼查显示,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域了,入股了由中科院微电子所控股的北京科益虹源公司。

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公开信息显示,北京科益虹源光电技术公司的控股股东是中科院微电子所,持股26.6%,主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。

光刻胶板块最近几日表现比较强势,近两周累计涨幅接近15%。

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方正证券指出,光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备),价值含量极大,在制造设备投资额中单项占比高达23%,技术要求极高,涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。光刻机是人类文明的智慧结晶,被誉为半导体工业皇冠上的明珠。

方正证券认为,目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ,CR3高达99%。在当前局势下,实现光刻机的国产替代势在必行,具有重大战略意义。在02专项光刻机项目中,设定于2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机,其制程工艺为28纳米。考虑到此项目作为十三五目标,未来具有较大的明确性,结合 28nm作为当前关键技术节点的性能和技术优势,光刻机国产替代将迎来新的曙光。

方正证券陈杭建议关注光刻产业链,一是光刻机核心组件:负责整体集成的上海微电子、负责光源系统的科益虹源,负责物镜系统的国望光学,负责曝光光学系统的国科精密,负责双工作台的华卓精科,负责浸没系统的启尔机电;二是光刻配套设施:包括光刻胶,光刻气体,光掩模版,光刻机缺陷检测设备,涂胶显影设备等。

方正证券梳理光刻机产业链如下图:

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